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无尘室中的温湿度控制要求

    无尘室是温湿度主要是根据产品需求的生产工艺来确定,而且在满足产品工艺要求的同时还要考虑到工作人员的舒适度。随着无尘室空气洁净等级的提升,各类工艺对于温湿度的要求也越来越严格。
    总得来说,产品的加工精度越高,对于温湿度波动的要求也就越高,要求温湿度波动的范围也就越小。例如在一些大规模集成电路的光刻曝光工艺中,直接只有一百微米的材料,如果环境温度与要求直接相差了一度,就会造成材料零点几微米的偏差,在这种高精度要求的无尘室中就是非常严重的生产事故。所以,这种工艺甚至是需求温差保持在正负零点五摄氏度之间的。
    另外,一些高精度的产品对于湿度的要求也非常严格。在一些电子元件的生产中,空气的潮湿会直接影响到芯片的质量。而在大部分的硅类产品无尘室湿度的范围被严格规定在了30-45%之间。

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